Dry running vacuum pumps Bơm chân không loại không bôi trơn được phát triển cho công nghiệp sản xuất bán dẫn trong thập kỷ 80 và cho quá trình sản xuất hóa chất và dược phẩm vào đầu thập kỷ 90. Để đáp ứng tiêu chuẩn sạch GMP, tránh bị nhiễm tạp chất của các nhà máy hóa dược . SIHIdry (Bơm trục vít-screw pump) TAIKO (screw pump) Northey (Bơm cánh vấu hay cánh cam - claw pump) Đặc điểm và ứng dụng -công suất xấp xỉ 1000 m³/h -tạo chân không <1mbarA - Kiểm soát áp suất thông qua điều khiển tốc độ -Hiệu suất tốt -Không nhiễm tạp chất từ dầu bôi trơn và chất lỏng làm kín Ưu và nhược điểm Không chất lỏng phụ trợ = không chất bôi trơn, không chất làm kín và không chất lỏng làm mát => Không cần bôi trơn => không có sự tiếp xúc của của bộ phận => có các khe hở (*) => không cần làm kín => do khe hở nhỏ hoặc tốc độ cao => không cần làm mát => sinh nhiệt cao (**) * khe hở nhỏ + nhiệt độ cao => nên thân phải làm từ gang ** nhiệt độ dòng